CKD喜開理MAGD4-R-02A作為IAGD4系列中的2連模塊A型3通氣控閥,采用W密封(公稱6.35)標準,主打中小流量工藝氣體與惰性氣體的精準通斷控制,依托SUS316L不銹鋼材質與可靠密封結構,適配-10~80℃工況及多種介質場景。其模塊化設計可無縫融入集成化供氣系統,與減壓閥、流量調節閥等元件協同工作,在對供氣潔凈度、穩定性及安全性有較高要求的領域表現突出,以下為兩大核心應用案例的詳細拆解。
一、半導體芯片封裝工藝供氣控制
某半導體制造企業在芯片封裝工序中,需對氮氣、氬氣兩種惰性氣體進行精準回路切換與通斷控制,用于芯片引腳焊接保護與封裝腔室氣氛維持,要求氣體純度達標、無泄漏,且能適配自動化生產線的高頻啟停需求,最終選用MAGD4-R-02A組建集成化供氣支路。
該案例中,MAGD4-R-02A作為核心回路切換元件,憑借2連模塊A型3通結構,一端對接氮氣供氣主管路,一端連接氬氣支路,輸出端接入封裝腔室進氣口,搭配接近傳感器實現動作狀態信號反饋,與PLC控制系統深度聯動。設備運行時,焊接階段PLC發出指令,閥門快速切換至氬氣回路,氬氣經上游減壓閥減壓、流量調節閥精準校準后,通過閥門穩定輸送至焊接區域,形成致密保護性氣氛,避免引腳氧化影響焊接強度與導電性;封裝階段閥門切換至氮氣回路,氮氣緩慢填充腔室排出空氣,維持腔室干燥潔凈環境,保障封裝膠與芯片、基板的貼合穩定性,防止水汽導致產品后期失效。
產品優勢在該場景中充分發揮:SUS316L不銹鋼閥體與PTFE密封組件可杜絕材質污染氣體,外部泄漏(He)控制在2.8×10?12 Pa·m3/s以下,契合半導體行業對氣體純度的嚴苛要求;0.26的Cv值精準適配封裝工序的中小流量需求,切換動作響應靈敏無滯澀,適配每秒1-2次的高頻次工藝切換;模塊化設計使閥門能與系統內其他元件無縫對接,安裝空間占用僅為傳統分立元件的60%,便于后期維護檢修。投入使用后,有效降低了因氣體泄漏、回路切換延遲導致的產品不良率,助力生產線達成高效自動化運行目標。
密封組件采用W密封標準,搭配FKM材質O形圈與精密密封墊,外部密封部默認涂抹高真空專用潤滑脂,強化密封可靠性;回路接口對應2連模塊A型3通設計,可實現兩路介質回路的切換控制,Cv值為0.26,適配中小流量供氣需求。此外,閥體預留開關安裝位,可搭配接近傳感器實現動作狀態信號反饋,適配自動化控制系統的聯動需求。
二、精密化工原料混合工藝惰性氣體保護系統
某精密化工企業在高純度電子級化學品原料混合工序中,需通入氮氣進行惰性氣體保護,防止原料與空氣接觸發生氧化反應,同時需實現“保護氣供應-回路放空”雙向切換,避免混合釜內壓力異常,且要求閥門能耐受原料揮發氣體的輕微侵蝕,適配間歇式生產的啟停需求,選用MAGD4-R-02A作為該支路核心控制元件。
系統布局中,MAGD4-R-02A一端連接經凈化過濾的氮氣供氣系統,一端對接混合釜進氣口,預留支路連接放空管路,搭配壓力傳感器實現釜內壓力聯動控制。生產階段,混合釜進料完成后,PLC發出指令,閥門切換至氮氣供應回路,氮氣經壓力調節后勻速進入釜內,逐步排出內部空氣,待釜內壓力達到設定正壓值后,閥門維持開啟狀態,持續補充氮氣平衡消耗,始終隔絕空氣;混合完成后,閥門切換至放空回路,緩慢釋放釜內殘余氮氣與揮發氣體,待壓力降至常壓后,方可開啟釜體取料,保障作業安全,避免高壓氣體夾帶原料噴濺。
針對化工場景的特殊需求,產品通過針對性設計形成適配:閥體表面經精密防腐處理,搭配耐腐蝕密封組件,可抵御原料揮發氣體的輕微侵蝕,延長使用壽命至8000小時以上;常閉(NC)動作方式在斷電或無控制信號時自動閉合,阻斷回路,防止空氣倒灌進入釜內污染原料;支持手動應急切換功能,在系統故障時可人工操作切換回路,降低生產中斷損失。同時,閥門與系統內稱重傳感器、PLC的聯動,實現了“壓力-流量-回路切換”的閉環控制,提升了原料混合的批次一致性,減少因氧化導致的原料損耗。
當控制氣源斷開,控制口氣壓降至常壓時,內部彈簧失去氣壓制衡,依靠自身彈性復位推動閥芯回歸閉合位置,閥芯與閥座緊密貼合,阻斷介質流通,回路恢復初始關閉狀態。動作過程中,閥芯與流道的配合間隙經過精準校準,減少氣流沖擊與壓力損失,同時密封組件隨閥芯動作同步貼合,避免介質泄漏,保障回路切換的平穩性與可靠性。
三、應用場景總結
MAGD4-R-02A憑借精準的通斷控制、可靠的密封性能與靈活的模塊化設計,核心適配半導體、精密化工、電子制造等對氣體純度、回路切換精度及安全性有較高要求的領域,尤其適用于中小流量惰性氣體、工藝氣體的輸送與回路切換需求。其在應用中可與集成化供氣系統深度協同,通過與傳感器、PLC的聯動實現全自動化控制,同時依托耐腐蝕材質與低泄漏特性,兼顧作業安全與產品質量穩定性。
該型號的適配場景具備共性特征:均需中小流量氣體控制、對氣體潔凈度與泄漏控制要求較高、需頻繁回路切換或自動化聯動,除上述兩大場景外,還可廣泛應用于電子元件清洗、精密儀器校準用氣控制、醫藥中間體合成保護氣系統等場景,為各行業精細化生產提供可靠的供氣控制支撐。
該型號針對集成化供氣系統的工況需求優化適配設計,使用壓力范圍覆蓋1.3×10??~0.99MPa(abs),可兼容真空工況與常規供氣壓力場景,流體溫度適配-10~80℃區間,滿足多數工業常溫供氣需求。密封機制采用多維度防護設計,外部依靠W密封結構與潤滑脂輔助密封,內部通過閥芯與閥座的精密貼合阻斷介質滲漏,閥座泄漏(He)控制在1.0×10?1? Pa·m3/s以下,外部泄漏(He)低于2.8×10?12 Pa·m3/s,維持系統壓力穩定與介質潔凈度。
在介質適配方面,依托不銹鋼閥體與耐腐蝕密封組件,可適配氫氣、氬氣、氮氣等惰性氣體,以及各類無強腐蝕性的工藝氣體,同時內部流道的高潔凈處理的能減少介質污染,適配半導體制造等對氣體純度要求較高的場景。此外,模塊化結構可與系統內減壓閥、流量調節閥、手動閥等元件協同工作,通過標準化接口實現無縫對接,提升集成系統的整體控制精度。